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反光特性：对于反光强烈的电子芯片,应选择能够减少反光影响的光源.同轴光源能够提供明亮背景上的黑色特征,适合反光厉害的平面物体检测,能够加强有差异角度的表面特征,增强表面纹理（划痕、凹陷、压印),减少阴影。
缺陷检测：如果检测目标是芯片表面的微小缺陷,如划痕或破损,可以选择高亮点光源,这种光源提供高亮度、高均匀性,有助于清晰呈现芯片轮廓
特征识别：对于需要识别芯片上的二维码或字符,同轴光源能够对反光平面成像均匀,亮度高,兼容多种特征识别.
对位和测量：晶圆视觉对位可能需要组合光源,利用圆顶光源凸显定位特征点,使用同轴光源补光,解决暗影区,组合光源的均匀性好,结构架设方便.
光源的均匀性：光源的均匀性要好,在有效的照射范围内,灰度值标准差要小.
光谱范围：具有较宽的光谱范围,可以对不同材料的物体进行检测.
光照强度：光照强度要足够,提高信噪比,利于图像处理.
使用寿命及稳定性：具有较长的使用寿命及较高的稳定性,保障光源在长时间运行状态下能够持续稳定的提供照明环境.
成本效益：选择成本低,易根据现场情况定制特殊形状光源.
特定波长需求：某些检测可能需要特定波长的光源,如UV-LED点光源适用于晶圆曝光和光刻工艺.
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